广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵

扩展测试寿命测试 在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试（长时间暴露于加速损坏的条件下），对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间超过五年。冲击测试 对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试，证明泵的抗冲击性。每个泵受到 30–120 g 的加速度，相当于从82 厘米/32 英寸高跌落（处于非运行状态的泵）和从 15 厘米/6 英寸高跌落（处于运行状态的泵）。在泵处于垂直、水平和倒立状态时，各进行 6 次冲击测试。所测试的泵在 24 次跌落后无任何问题（不发生转子机械接触，泵运行状态不变）。在每次跌落后验证泵的不平衡性，结果表明变化，远低于阈值。

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“黑科技” No.2  AFS 安捷伦悬浮轴承技术

一般的涡轮分子泵的设计，泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的，一旦泵体有振动或冲击，这些振动就会传递到轴承，并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动，对振动特别敏感，传递到轴承的振动会影响轴承的寿命，传递到转子的振动会造成转子发生位移，甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触，巨大的冲击力会立即造成转子叶片的破碎，整泵也随之报废。

安捷伦 AFS 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击；并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动，保证佳的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，程度减少系统停机时间，确保长时间工作的稳定性。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到好的性能曲面上（3D），达到气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。

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安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。

据悉，CombiNEG系列可复合2000L/s的吸气剂泵，其开启工作时可将前级泵隔离封闭抽气，可靠性高，所需电流小，对环境磁场的影响也很小，并且无油无振动，非常适合粒子、表面科学仪器和设备等需要超高真空、极高真空的系统。双泵复合单一抽气口的设计，使其结构很紧凑，安装使用也更简单。在结构上，CombiNEG系列采用安捷伦科技（AgilentTechnologies）StarCell离子泵抽气单元和赛斯集团 （SaesGroups）的烧结型非蒸散型吸气剂（NEG）。

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安捷伦DS系列旋片泵符合CE和RoHS要求，所有的泵均具有UL和CSA认证。安捷伦的技术支持机构确保DS系列旋片泵具有的，且能够适合于绝大多数应用。安捷伦提供抽速从1.8m三次方/h到25m三次方/h小时的系列双极油泵，同时还提供“智能”的HS系列变频泵。

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由于钛升华泵或吸气剂泵可以提供很大的抽速，在 UHV 系统中，通常使用钛升华泵或者吸气剂泵作为泵送活性气体（如氦气和氮气）的有效手段，但是，钛升华泵或者吸气剂泵对非活性气体（如气和）几乎没有抽速。由于 Starcell 三极离子泵对非活性气体有较好的抽气作用，通常将 TSP 或 NEG 与 Starcell 结合使用。安捷伦可以提供与钛升华泵复合的 CombiTSP 离子泵或与吸气剂泵复合的 CombiNEG 离子泵。